ALICAT氣體質量控制器由質量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調節閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區,一個通過主流量管道,另一個通過毛細管。*的設計確保兩個管路里的流體都是層流狀態,因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時,毛細管上兩個精確的溫度感應繞組被加熱,當有流量時,被加熱的氣體從上游到下游流動,在兩個感應繞組之間產生了溫差,溫差與電阻的變化成比例關系。它們在集成電路、材料、石化、環保、醫療、分析儀器等多種領域和行業的科研和生產中發揮著不可替代的作用。
ALICAT氣體質量控制器在使用時有一定的操作規程和注意事項,在使用的時候必須要注意這么幾點:
一、禁用流量介質,使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時在氣路中加裝過濾器干燥器等。如果儀表出口接有液體原瓶,應在流量出口加裝單向閥,防止液體回流損壞儀表。
二、使用腐蝕性氣體,儀表通道材料為0Cr17Ni14Mo2(相當于316L不銹鋼),在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下,可測量一般的腐蝕性氣體。使用于氨氣、有機溶劑蒸汽或其它強腐蝕性氣體時,應在訂貨時特殊注明,以便更換密封材料。
三、閥門要注意密封,儀表的電磁閥是調節閥,不是截止閥,不能當截止閥使用,用戶應另配截止閥。特別是使用腐蝕性氣體時,通常應在儀表進出口處各加一個截止閥,以保證安全。長期工作后,如儀表閥口的漏氣率在2%FS以內,屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%,則應予以維修。
四、注意閥控操作,在操作閥門進行清洗后,不能直接轉至“閥控”位工作,必須先將閥門置于“關閉”位,然后再轉至“閥控”位工作。
五、注意安裝,安裝時盡量保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平安裝時如發現零點偏移,可調整零點后再工作。
六、注意工作壓差,對于儀表要特別注意工作介質的氣壓,應注意使儀表進出氣兩端的工作壓差保持在治標范圍內。特別是在高壓下工作時,氣壓差過大,流量將無法關閉或調小。在使用大流量的儀表時,要注意適當加粗管道和減小氣源內阻,如工作壓差小于要求值,有可能流量達不到滿量程值。